陶瓷加熱器，又稱陶瓷加熱元件，指利用陶瓷材料作為熱傳導(dǎo)介質(zhì)的加熱裝置。陶瓷加熱器具有耐腐蝕、使用壽命長、安全可靠性高、熱轉(zhuǎn)換效率高、綠色環(huán)保等優(yōu)勢，可用于集成電路等半導(dǎo)體器件制造過程中，為半導(dǎo)體設(shè)備重要組件。
   按照陶瓷材料不同，陶瓷加熱器可分為氧化鋁陶瓷加熱器、氮化鋁陶瓷加熱器等類型。氮化鋁陶瓷加熱器以氮化鋁作為熱傳導(dǎo)介質(zhì)，具備極佳導(dǎo)熱性、等離子體抗性以及電絕緣性。近年來，氮化鋁陶瓷加熱器行業(yè)發(fā)展速度不斷加快，已成為陶瓷加熱器市場主流產(chǎn)品。2023年全球氮化鋁陶瓷加熱器市場規(guī)模達(dá)到近4000萬美元，同比增長近10%。未來隨著細(xì)分產(chǎn)品應(yīng)用需求增長，陶瓷加熱器行業(yè)發(fā)展態(tài)勢將持續(xù)向好。
   陶瓷加熱器為半導(dǎo)體設(shè)備重要組成部分，能夠保證集成電路在加工過程中的溫度均勻性。隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向我國大陸轉(zhuǎn)移，我國集成電路產(chǎn)量不斷增長。據(jù)國家工信部統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示，2023年我國集成電路產(chǎn)量達(dá)到3514億塊，同比增長6.9%。預(yù)計(jì)未來一段時(shí)間，伴隨半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，我國陶瓷加熱器市場空間將進(jìn)一步擴(kuò)展。
   全球陶瓷加熱器市場主要集中于歐美以及日韓等國，主要生產(chǎn)商包括韓國MiCo Ceramics公司、日本NTK CERATEC株式會社、日本礙子株式會社（NGK INSULATORS）、日本住友電氣工業(yè)株式會社（Sumitomo）、美國SemiXicon公司、美國CoorsTek公司等。韓國MiCo Ceramics公司專注于半導(dǎo)體設(shè)備專用陶瓷零部件的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，其氮化鋁陶瓷加熱器已在CVD、PE-CVD、ALD等半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備中獲得應(yīng)用。
   在本土方面，我國陶瓷加熱器主要生產(chǎn)商包括中瓷電子、商德先進(jìn)陶瓷、思考電子、珂瑪科技等。珂瑪科技主營產(chǎn)品為先進(jìn)陶瓷零部件，擁有多項(xiàng)陶瓷加熱器相關(guān)發(fā)明專利，其產(chǎn)品可滿足客戶定制化需求。據(jù)珂瑪科技企業(yè)年報(bào)顯示，2023年公司先進(jìn)陶瓷材料零部件業(yè)務(wù)實(shí)現(xiàn)營收4億元。
   隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，陶瓷加熱器市場需求日益旺盛。未來伴隨技術(shù)進(jìn)步，氮化鋁陶瓷加熱器作為陶瓷加熱器代表產(chǎn)品，行業(yè)發(fā)展空間將進(jìn)一步擴(kuò)展。與海外發(fā)達(dá)國家相比，我國陶瓷加熱器行業(yè)起步較晚，但發(fā)展勢頭迅猛，已有多家企業(yè)具備高性能產(chǎn)品自主研發(fā)及生產(chǎn)實(shí)力。